1、速度200-1200rpm;2、温度范围:室温-60℃;3、容量:可同时防止4块微孔板。
单晶硅片
FZ区熔高阻硅片
无衍射峰硅片
氧化硅片
低应力氮化硅片
镀金/铂金/铜/铝等金属膜硅片
进口SOI硅片
异形硅片
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