金刚石划片机
●品牌:德国OEG,型号:MR200:
部分客户:清华大学、北京航空航天大学、西安光机所等;
·阐述:金刚石划片机是一种应用于半导体行业,尤其是在利用扫描电子显微镜(SEM)观察硅晶圆前的准备阶段
理想的划割工具。
高质量的光学变焦系统,为扫描区域8倍至40倍的无级放大切换提供了保证。不仅如此,MR200还能为有需要的客户,添加额外的光学和机械组件,以增加仪器性能及易用性。包括CCD相机,附带测量功能的图像处理系统,以及操作台位移测量系统。MR200提供多种调整方案
单晶硅片
FZ区熔高阻硅片
无衍射峰硅片
氧化硅片
低应力氮化硅片
镀金/铂金/铜/铝等金属膜硅片
进口SOI硅片
异形硅片
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